(1)直接熱脫附由進料系統、脫附系統和尾氣處理系統組成。進料系統：通過篩分、脫水、破碎、磁選等預處理，將污染土壤從車間運送到脫附系統中。脫附系統：污染土壤進入熱轉窯后，與熱轉窯燃燒器產生的火焰直接接觸，被均勻加熱至目標污染物氣化的溫度以上，達到污染物與土壤分離的目的。尾氣處理系統：富集氣化污染物的尾氣通過旋風除塵、焚燒、冷卻降溫、布袋除塵、堿液淋洗等環節去除尾氣中的污染物。
(2)間接熱脫附由進料系統、脫附系統和尾氣處理系統組成。與直接熱脫附的區別在于脫附系統和尾氣處理系統。脫附系統：燃燒器產生的火焰均勻加熱轉窯外部，接加熱至污染物的沸點后，污染物與土壤分離，廢氣經燃燒直排。尾氣處理系統：富集氣化污染物的尾氣通過過濾器、冷凝器、超濾設備等環節去除尾氣中的污染物。氣體通過冷凝器后可進行油水分離，濃縮、回收有機污染物。
主要設備包括進料系統：如篩分機、破碎機、振動篩、鏈板輸送機、傳送帶、除鐵器等;脫附系統：回轉干燥設備或是熱螺旋推進設備;尾氣處理系統：旋風除塵器、二燃室、冷卻塔、冷凝器、布袋除塵器、淋洗塔、超濾設備等。
異位熱脫附技術的處理周期可能為幾周到幾年，實際周期取決于以下因素：(1)污染土壤的體積;(2)污染土壤及污染物性質;(3)設備的處理能力。一般單臺處理設備的能力在3~200噸/小時之間，直接熱脫附設備的處理能力較大，一般20~160噸/小時;間接熱脫附的處理能力相對較小，一般3~20噸/小時。
影響異位
土壤熱脫附修復技術處置費用的因素有：(1)處置規模;(2)進料含水率;(3)燃料類型、土壤性質、污染物濃度等。國外對于中小型場地(2萬噸以下，約合26800m3)處理成本約為100-300美元/ m3，對于大型場地(大于2萬噸，約合26800m3)處理成本約為50美元/m3。根據國內生產運行統計數據，污染土壤熱脫附處置費用約為600-2000元/噸。
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