土壤熱脫附技術主要實施過程：土壤挖掘，對地下水位較高的場地，挖掘時需要降水使土壤濕度符合處理要求;土壤預處理，對挖掘后的土壤進行適當的預處理，例如篩分、調節土壤含水率、磁選等;土壤熱脫附處理，根據目標污染物的特性，調節合適的運行參數(脫附溫度、停留時間等)，使污染物與土壤分離;收集脫附過程產生的氣體，通過尾氣處理系統對氣體進行處理后達標排放。
運行維護和監測：根據
土壤熱脫附裝置的工藝流程和設備的運行狀況和特點，制定完善的設備維護和保養制度，并編制相應的維修和保養手冊，確保裝置的穩定和安全運行。系統中熱脫附的爐體、燃燒腔體、煙氣管道、急冷和中和裝置、布袋除塵器及引風機等主要設備應作為維護的重點部位。設備系統應建立大修制度，大修周期應按系統設備的實際運行時間確定，一般大修周期不應超過1年。
修復周期：
土壤熱脫附修復技術處理周期可能為幾周到幾年，實際周期取決于以下因素：污染土壤的體積，污染土壤及污染物性質，設備的處理能力。
參考成本：一般單臺處理設備的能力在3-200噸/小時之間，直接熱脫附設備的處理能力較大，一般20-160 噸/小時;間接熱脫附的處理能力相對較小，一般3-20 噸/小時。
國外對于中小型場地(2萬噸以下，約合26800m3)處理成本約為100-300美元/ m3，對于大型場地(大于2萬噸，約合26800m3)處理成本約為50美元/ m3。根據國內生產運行統計數據，污染土壤熱脫附處置費用約為600-2000元/噸。影響處置費用的因素有：處置規模、進料含水率、燃料類型、土壤性質、污染物濃度等。
應用情況：國外，在國外始于七十年代，廣泛應用于工程實踐，技術較為成熟。在1982-2004年期間，約有70個美國超級基金項目采用熱脫附作為主要的修復技術。國內，我國對熱脫附修復技術的應用處于起步階段，已有少量應用案例。
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